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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Heidelberg - Deutschland Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2026110300575792965 / 761149-2026
Veröffentlicht :
03.11.2026
Anforderung der Unterlagen bis :
20.11.2026
Angebotsabgabe bis :
30.11.2026
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
31640000 - Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DEU-Heidelberg: Deutschland Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener
Funktion Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage
(ALD)

2026/S 213/2026 761149

Deutschland Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion Vergabeverfahren zur
Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
OJ S 213/2026 03/11/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferleistungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Heidelberg
E-Mail: vergabe@zuv.uni-heidelberg.de
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung
des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Kennung des Verfahrens: e3e7b0eb-8d44-4f2f-95e2-71af6261aacc
Interne Kennung: Uni-HD.2026.1159_Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)_KIP
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte
(außer Gläser)

2.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69120
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland

2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVY49S# Bieterfragen innerhalb
der Angebotsfrist (Informationspflicht) Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche
Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können,
müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt Fristen des
Vergabeverfahrens angegebenen Frist über den Projektraum des Vergabemarktplatzes
Baden-Württemberg (VMP) in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden. Für die
komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich
Kommunikation im Projektraum des Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg verwiesen;
insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die
Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und

Informationen der Vergabestelle erfolgen über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg;
siehe hierzu Abschnitt Kommunikation . Die Bieter sind verpflichtet, sich regemäßig bis zum
Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu
informieren (Holschuld des Bieters). Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und
somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen
durch die Vergabestelle informiert. Die Verwendung veralteter Vergabeunterlagen kann zum
Ausschluss führen.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt
Insolvenz beschrieben.
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Es
gelten die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen
Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im
Abschnitt EIGENERKLÄRUNG der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe
ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte EIGENERKLÄRUNG in Textform gemäß §
126b BGB zu übermitteln.
Betrug: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Korruption: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Es gelten die Regelungen wie im
Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Es gelten die Regelungen wie
im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Es gelten
die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt
Insolvenz beschrieben.
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt
Insolvenz beschrieben.
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt
Insolvenz beschrieben.
Zahlungsunfähigkeit: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Es gelten die zwingenden
bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den
Ausschlussgründen sind im Abschnitt EIGENERKLÄRUNG der Vergabeunterlagen zu
entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte
EIGENERKLÄRUNG in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln.
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz
beschrieben.
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Es gelten
die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt
Insolvenz beschrieben.
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Es
gelten die Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Es gelten die
Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Es gelten die
Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Es gelten die
Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher
Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: Es gelten die
Regelungen wie im Abschnitt Insolvenz beschrieben.

5. Los

5.1. Los: LOT-0001
Titel: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Beschreibung: Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl.
Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch
plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf
dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im
Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster
Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und
High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-
überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die
angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes
bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung Frei Bordsteinkante inkl. Abladen - Funktionstest
bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim
Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität
Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die
maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR
(einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die
diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch
anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.
Interne Kennung: Uni-HD.2026.1159_Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)_KIP

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte
(außer Gläser)

5.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69120
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland

5.1.3. Geschätzte Dauer
Laufzeit: 60 Wochen

5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.

Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eintragung in einem Handelsregister Der
Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines
Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet;

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen
Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe,
mindestens aber mit einer Deckungssumme von: - 2.500.000 EUR für Personenschäden -
1.000.000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen. Die
Gesamtleistung für alle Versicherungsfälle eines Versicherungsjahres beträgt das 2-fache der
vereinbarten Versicherungssumme.

Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen: Ausführung von
Lieferungen der genannten Art Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind.
zwei folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt. (Anzugebender
Zeitraum: 2021-2026). ------------------------------- Als Unterauftrag vergebener Anteil Der
Wirtschaftsteilnehmer beabsichtigt, unter Umständen folgenden Teil (Prozentsatz) des
Auftrags als Unterauftrag zu vergeben:

5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Bewertung nach der UfAB-Methode
Beschreibung: Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des
Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot
erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des
Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der Erweiterten Richtwertmethode gemäß
UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender
Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 100

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 20/11/2026 23:59:59 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice
/CXR6YYVY49S/documents

Ad-hoc-Kommunikationskanal:
URL: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXR6YYVY49S

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice
/CXR6YYVY49S
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 30/11/2026 10:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit,
Westeuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 46 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung
des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ( European
Single Procurement Document ) verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von
Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz
Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit
während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung
geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des
Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der
Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor
Zuschlagserteilung vorlegen.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 30/11/2026 10:05:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische
Sommerzeit
Ort des Eröffnungstermins: Es findet keine öffentliche Submission statt.
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja

5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium
Karlsruhe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfristen
nach § 160 GWB hingewiesen: Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den
geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des

Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von
zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht
spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder
zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis
zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers,
einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf
Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1
Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität
Heidelberg
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt:
Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Universität Heidelberg

8. Organisationen

8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Heidelberg
Registrierungsnummer: 08-A3529-39
Postanschrift: Seminarstraße 2
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69117
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Vergabestelle
E-Mail: vergabe@zuv.uni-heidelberg.de
Telefon: +49 6221-5412456
Fax: +49 6221-541612220
Internetadresse: https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html
Profil des Erwerbers: https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.
html
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium
Karlsruhe
Registrierungsnummer: 08-A9866-40
Postanschrift: Kapellenstraße 17
Stadt: Karlsruhe
Postleitzahl: 76131
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Referat 15 Vergabekammer
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de

Telefon: +49 721926-8730
Fax: +49 721926-3985
Internetadresse: https://rp.baden-wuerttemberg.de/rpk/Abt1/Ref15/Seiten/default.aspx
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 636d4b18-bf9f-4353-9e99-f9d7931dc2f2 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/10/2026 15:19:34 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 213/2026
Datum der Veröffentlichung: 03/11/2026

Referenzen:
https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXR6YYVY49S
https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXR6YYVY49S/documents
https://rp.baden-wuerttemberg.de/rpk/Abt1/Ref15/Seiten/default.aspx
https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202611/ausschreibung-761149-2026-DEU.txt

 
 
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