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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Garching - Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2026021807062925779 / 114366-2026
Veröffentlicht :
18.02.2026
Anforderung der Unterlagen bis :
12.03.2026
Angebotsabgabe bis :
19.03.2026
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DEU-Garching: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und
Präzisionsgeräte (außer Gläser) Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem

2026/S 34/2026 114366

Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Reaktives
Magnetron Co-Sputtersystem
OJ S 34/2026 18/02/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferleistungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München
E-Mail: johanna.eichhorn@tum.de
Rechtsform des Erwerbers: Regionale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem
Beschreibung: Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für die Synthese von Oxid, Oxinitrid
und Nitrid Dünnfilmen
Kennung des Verfahrens: 08175e4a-574a-4b76-b723-ac5f62cc2b66
Interne Kennung: 040/2025
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)

2.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland

2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YK051UP#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen

5. Los

5.1. Los: LOT-0001

Titel: Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem
Beschreibung: Gegenstand des Auftrags ist Lieferung und Installation (inkl. Training) eines
reaktiven Magnetron Co-Sputter-Systems zur Herstellung von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-
Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen.
Interne Kennung: 040/2025

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)

5.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland

5.1.3. Geschätzte Dauer
Laufzeit: 11 Monate

5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters,
jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto.

Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärungen über je mindestens drei vergleichbare
Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit
Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit
Ansprechpartner und Telefonnr.). Maßstab der Vergleichbarkeit ist die in der
Leistungsbeschreibung geforderte Lieferleistung. Die verschiedenen Referenzen müssen nicht
jeweils alle in der Leistungsbeschreibung geforderten Komponenten enthalten. Jedoch muss
durch die Summe der mindestens 3 Referenzen der wesentlichen Teil der Komponenten, wie
Sputterkammer, in-situ tilt Magnetorn-Sputterquellen, Pumpensystem, Powergeneratoren (RF,
DC, pDC), Schleuse mit automatischem Einzelwafer-Transfer, Dünnschichtmonitor,
pneumatische Shutter, Gasdosiersystem (in andere Variante), Computersteurung, Software,
und Heizer, abgedeckt sein.

5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis

Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 30,00
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität
Beschreibung: Qualität
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 70,00

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 12/03/2026 23:59:59 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP
/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch,
Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 19/03/2026 09:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit,
Westeuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 6 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter
Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende,
unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere
Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu
vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene
Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 19/03/2026 09:01:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische
Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein

5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Informationen über die Überprüfungsfristen: Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen
(GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur
auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem
öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97
Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen,
dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein
Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der
Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des
Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von
zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht
spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder
zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis
zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers,
einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf
Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1
Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt:
Technische Universität München
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Technische Universität München

8. Organisationen

8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München
Registrierungsnummer: 09-1512011-61
Postanschrift: Am Coulombwall 4
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Professur für nanoskalige Mikroskopie und Spektroskopie von
Energiematerialien
E-Mail: johanna.eichhorn@tum.de
Telefon: +498928912762
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer: 09-0318006-60
Stadt: München
Postleitzahl: 80534
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de
Telefon: +49 892176-2411
Fax: +49 892176-2847
Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns
/zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle

8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 438b8694-18c3-43e4-950d-6d604cd198ae - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 16/02/2026 17:30:12 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 34/2026
Datum der Veröffentlichung: 18/02/2026

Referenzen:
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP/documents
https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns/zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202602/ausschreibung-114366-2026-DEU.txt

 
 
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