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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Berlin - Deutschland Trockenätzausrüstung Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2025112406465013205 / 777890-2025
Veröffentlicht :
24.11.2025
Anforderung der Unterlagen bis :
30.06.2027
Angebotsabgabe bis :
03.12.2025
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
22520000 - Trockenätzausrüstung
DEU-Berlin: Deutschland Trockenätzausrüstung Lieferung eines
ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen
(Wartung und Support)

2025/S 226/2025 777890

Deutschland Trockenätzausrüstung Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie
einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
OJ S 226/2025 24/11/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung - Änderungsbekanntmachung
Lieferungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für
Höchstfrequenztechnik
E-Mail: vergabe@fbh-berlin.de
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich
Nebenleistungen (Wartung und Support)
Beschreibung: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie
einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Kennung des Verfahrens: 98728eb4-5ebb-42f5-9027-3129e266a320
Interne Kennung: FBH-2025-0141
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 22520000 Trockenätzausrüstung

2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland

2.1.3. Wert
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 1 000 000,00 EUR

2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Siehe Ausschreibungsunterlagen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen

5. Los

5.1. Los: LOT-0000
Titel: Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich
Nebenleistungen (Wartung und Support)
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-
0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich
Nebenleistungen (Wartung und Support)
Interne Kennung: LOT-0000

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 22520000 Trockenätzausrüstung
Optionen:
Beschreibung der Optionen: Siehe Zuschlagskriterien und Ausschreibungsunterlagen
insbesondere Verfahrensbedingungen

5.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland

5.1.3. Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 02/03/2026
Enddatum der Laufzeit: 30/06/2027

5.1.5. Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 900 000,00 EUR
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 1 000 000,00 EUR

5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Erforderlich für das Angebot
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
Zusätzliche Informationen: Siehe Ausschreibungsunterlagen

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Auftragsunterlagen

5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferfrist

Beschreibung: Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte.
Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der
kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 10,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support
(gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 90,00

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://vergabekooperation.berlin/NetServer
/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1999ee4baff-
9bb47c0efd52a77

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Adresse für die Einreichung: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 03/12/2025 13:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit,
Westeuropäische Sommerzeit
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 4 Monate
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Siehe Ausschreibungsunetralgen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 03/12/2025 14:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische
Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein

5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
Höchstzahl der Teilnehmer: 1
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem

Elektronische Auktion: nein

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen: Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang
der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein
Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH,
Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

8. Organisationen

8.1. ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für
Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
E-Mail: vergabe@fbh-berlin.de
Telefon: +49 30 63922600
Internetadresse: http://www.fv-berlin.de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1. ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin
Registrierungsnummer: t:03090138316
Postanschrift: Martin-Luther-Str. 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer@senweb.berlin.de
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle

8.1. ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de

Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

10. Änderung

Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: bd307cf5-28c5-4544-a1f6-
8931cd194433-01

Hauptgrund für die Änderung: Aktualisierte Informationen

Beschreibung: Siehe Klarstellungen und Änderung der Angebotsfrist

10.1. Änderung
Abschnittskennung: LOT-0000

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: de060e0a-5b58-49f0-8fc6-76deac5e4512 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 20/11/2025 18:38:30 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 226/2025
Datum der Veröffentlichung: 24/11/2025

Referenzen:
https://vergabekooperation.berlin/NetServer/
https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1999ee4baff-9bb47
c0efd52a77
http://www.fv-berlin.de
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202511/ausschreibung-777890-2025-DEU.txt

 
 
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