(1) Searching for "2019031909220089299" in Archived Documents Library (TED-ADL)

Ausschreibung: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - DE-Geesthacht
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 126401-2019 (ID: 2019031909220089299)
Veröffentlicht: 19.03.2019
*
  DE-Geesthacht: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
   2019/S 55/2019 126401
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Legal Basis:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Helmholtz-Zentrum Geesthacht
   Max-Planck-Str. 1
   Geesthacht
   21502
   Deutschland
   Kontaktstelle(n): Einkauf
   E-Mail: [1]einkauf@hzg.de
   Fax: +49 4152-871750
   NUTS-Code: DEF06
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]www.hzg.de
   I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [3]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YCQ
   DLRR/documents
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [4]https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YCQ
   DLRR
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: Forschungseinrichtung
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Werkstoff- und Küstenforschung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   UV Direct Laser Writer System
   Referenznummer der Bekanntmachung: 10088582
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   38000000
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Für unsere Werkstoffforschung soll ein neues Direct Laser Write
   Lithography System beschafft werden.
   Direct Laser Write Lithography System für 8" x 8" Substrate mit 405 nm
   oder 375 nm Lasersystem zur Erzeugung von 300 nm Strukturen.
   Das System muss die Möglichkeit zur Nutzung von mindestens 128
   Graustufen bieten.
   Das System muss über mehrere Spotgrößen des Lasers verfügen (0,3 m,
   0,6 m und ca. 1 m).
   Eine zusätzliche 5 m Spotgröße muss erreicht werden können.
   Die Umschaltung zwischen den Spotgrößen muss vollautomatisch erfolgen.
   Die Positionierung des Lasers in z-Richtung (Höheneinstellung") muss
   im Bereich von 0-10 mm automatisch erfolgen.
   Für den Betrieb muss das System über eine real-time Z-Kontrolle
   (Autofocus") im Bereich von mindestens -0,3 mm bis 0,3 mm verfügen.
   Der Focus Offset des Systems muss durch die Software gesetzt und
   kontrolliert werden können.
   Das System muss über eine integrierte Kontrolle der Laserleistung
   verfügen.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   38000000
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEF06
   Hauptort der Ausführung:
   Helmholtz-Zentrum Geesthacht
   Max-Planck-Str. 1
   21502 Geesthacht
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Die Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und
   Küstenforschung GmbH (HZG) ist eine gemeinnützige Forschungseinrichtung
   und eine der 18 Mitgliedseinrichtungen der Hermann von
   Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren e. V. Die
   Aufwendungen des HZG werden zu 90 % vom Bund (BMBF - Bundesministerium
   für Bildung und Forschung) und zu 10 % von den vier Konsortialländern
   (Schleswig-Holstein, Hamburg, Niedersachsen und Brandenburg)
   finanziert.
   Die satzungsmäßige Aufgabe der Gesellschaft ist es, im
   multidisziplinären Verbund Forschung und Entwicklung, insbesondere auf
   dem Gebiet der Materialforschung, der Küsten-, Klima- und
   Umweltforschung sowie der regenerativen Medizin zu betreiben.
   Für unsere Werkstoffforschung soll ein neues Direct Laser Write
   Lithography System beschafft werden:
    Direct Laser Write Lithography System für 8" x 8" Substrate mit 405
   nm oder 375 nm Lasersystem zur Erzeugung von 300 nm Strukturen
   (Auflösung/kleinste schreibbare Linienbreite 300 nm oder besser),
    das System muss die Möglichkeit zur Nutzung von mindestens 128
   Graustufen bieten,
    das System muss über mehrere Spotgrößen des Lasers verfügen (0,3 m,
   0,6 m und ca. 1 m),
    eine zusätzliche 5 m Spotgröße muss erreicht werden können,
    die Umschaltung zwischen den Spotgrößen muss vollautomatisch
   erfolgen,
    die Positionierung des Lasers in z-Richtung (Höheneinstellung") muss
   im Bereich von 0-10 mm automatisch erfolgen,
    für den Betrieb muss das System über eine real-time Z-Kontrolle
   (Autofocus") im Bereich von mindestens -0,3 mm bis 0,3 mm verfügen,
    der Focus Offset des Systems muss durch die Software gesetzt und
   kontrolliert werden können,
    das System muss über eine integrierte Kontrolle der Laserleistung
   verfügen,
    das System muss über einen Raster- und einen Vektormodus verfügen,
    das System muss über eine hochauflösende Kamera (min. 5 Mpix) für das
   Top Side Alignment verfügen,
    das Top side Alignment muss mit einer Genauigkeit von mindestens 0,5
   m möglich sein,
    die Abweichung der Linienbreitenkonstanz des Systems muss kleiner 50
   nm sein.
   Mechanische Eigenschaften
    das System muss eine Encoding-Auflösung für x- und y- Richtung von 10
   nm (oder besser) besitzen,
    die Repositionierungsgenauigkeit des Systems muss mindestens 20 nm
   (oder kleiner) sein,
    Substrate bis zu einer Dicke von 10 mm müssen bearbeitet werden
   können,
    das System muss über eine automatische Höheneinstellung von
   z-Richtung verfügen.
   Klima-Kontrolle:
    die Klimakontrolle soll in das Stand-alone System integriert sein,
    die Temperatur während der Bearbeitung eines Substrats muss
   mindestens zwischen 20^oC und 30^oC einstellbar sein. Die Regelung muss
   mit einer Genauigkeit von mindestens +/-0,2^oC erfolgen,
    die Feuchtigkeit während der Bearbeitung eines Substrats muss
   zwischen 30%RH und 80%RH einstellbar sein. Die Regelung muss mit einer
   Genauigkeit von mindestens +/-1 % erfolgen.
   Software:
    die Software zur Systemsteuerung muss über mehrere Userlevel
   verfügen,
    die Software des Systems muss GDSII, BMP und Gerber Dateien
   verarbeiten können,
    die Software des Systems muss CIF und DXF Dateien verarbeiten können,
    die Software soll die Parametrisierung einfacher Formen ohne
   Quelldateien ermöglichen,
    alle gemessenen Parameter eines Belichtungsprozesses müssen
   archiviert werden,
    ein Job Queuing sollte möglich sein,
    eine Verlaufsdatenbank sollte in der Software angelegt werden,
    die Software muss frei definierbare Prozess- und Substratrezepte
   unterstützen.
   Optional anzubieten sind:
    Upgrade auf 375 nm Lasersystem
    ein kompletter benutzertauschbarer 375 nm bzw. 405 nm Laser, falls
   erforderlich mit den angegebenen Spotgrößen,
    ein kompletter benutzertauschbarer 405 nm bzw. 375 nm Laser, falls
   erforderlich mit den angegebenen Spotgrößen,
    Wartungsvertrag mit Angabe der Reaktionszeit; dieser ist separat
   anzubieten.
   Die funktionalen Anforderungen müssen im Angebot in ihrer Ausführung
   beschrieben werden.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Qualitätskriterium - Name: Wertungstabelle Hardware / Gewichtung: 50 %
   Preis - Gewichtung: 50 %
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Beginn: 15/05/2019
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
   Eigenerklärung zur Eintragung ins Handelsregister:
   Den Nachweis über die Eintragung in das Handelsregister führen wir über
   die folgenden Angaben:
   Registerführendes Amtsgericht:
   Handelsregisternummer:
   Oder vergleichbare Eintragung (EU):
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   1) Erklärung zum Umsatz des Unternehmens in den Jahren 2016 bis 2018:
   Gesamtumsatz des Unternehmens sowie spezifischer Umsatz bezüglich der
   besonderen Leistungsart, die Gegenstand dieser Vergabe ist;
   2) Nachweis einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssumme
   je Versicherungsfall für Personen-, Sach- und Vermögensschäden (zum
   Zeitpunkt des Schlusstermins für die Einreichung der Teilnahmeanträge
   nicht älter als sechs Monate).
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Es sind 3 vergleichbare Leistungen, jeweils unter Angabe des
   Auftraggebers, des Auftragsgegenstandes, der Leistungszeit, der
   Rechnungssumme in Euro sowie eines Ansprechpartners, anzugeben.
   2) Angabe der durchschnittlichen Anzahl des beschäftigten Personals in
   den Jahren 2017 und 2018;
   3) Einzureichender Nachweis: EG Konformitätserklärung;
   4) Beschreibung der Maßnahmen des Unternehmens zur Gewährleistung der
   Qualität von Produkt und Auftragsabwicklung.
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
   Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 16/04/2019
   Ortszeit: 13:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 15/05/2019
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 16/04/2019
   Ortszeit: 13:00
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Bekanntmachungs-ID: CXP9YCQDLRR
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
   Villemomblerstr. 76
   Bonn
   53123
   Deutschland
   Telefon: +49 2289499-0
   Fax: +49 2289499-163
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
   Villemomblerstr. 76
   Bonn
   53123
   Deutschland
   Telefon: +49 2289499-0
   Fax: +49 2289499-163
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   Die Auftraggeberin weist ausdrücklich auf die Rügeobliegenheiten der
   Unternehmen/Bewerber/Bieter sowie auf die Präklusionsregelungen gemäß §
   107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1-4 GWB hinsichtlich der Behauptung von Verstößen
   gegen die Bestimmungen über das Vergabeverfahren hin. § 107 Abs. 3 Satz
   1 GWB lautet: der Antrag (auf Nachprüfung) ist unzulässig, soweit der
   Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im
   Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht
   unverzüglich gerügt hat.
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
   Villemomblerstr. 76
   Bonn
   53123
   Deutschland
   Telefon: +49 2289499-0
   Fax: +49 2289499-163
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   14/03/2019
   [BUTTON] ×
Direktlinks
   HTML ____________________
   PDF ____________________
   PDFS ____________________
   XML ____________________
   [BUTTON] Schließen
References
   1. mailto:einkauf@hzg.de?subject=TED
   2. http://www.hzg.de/
   3. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YCQDLRR/documents
   4. https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YCQDLRR
--------------------------------------------------------------------------------
             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
 Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de