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Ausschreibung: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke - DE-Ilmenau
Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Oberflächenbehandlung
Dokument Nr...: 124059-2019 (ID: 2019031809124386943)
Veröffentlicht: 18.03.2019
*
  DE-Ilmenau: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
   2019/S 54/2019 124059
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Legal Basis:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
   Max-Planck-Ring 14
   Ilmenau
   98693
   Deutschland
   Telefon: +49 3677-691744
   E-Mail: [1]beschaffung@tu-ilmenau.de
   Fax: +49 3677-691931
   NUTS-Code: DEG0F
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]http://www.tu-ilmenau.de
   I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [3]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [4]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
   Kontaktstellen
   Im Rahmen der elektronischen Kommunikation ist die Verwendung von
   Instrumenten und Vorrichtungen erforderlich, die nicht allgemein
   verfügbar sind. Ein uneingeschränkter und vollständiger direkter Zugang
   zu diesen Instrumenten und Vorrichtungen ist gebührenfrei möglich
   unter:
   [5]https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=BF449CCA7F84740
   07861F7B2846EBCEC.app202?0
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Einrichtung des öffentlichen Rechts
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Bildung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Atomlagen-Ätzsystem mit Plasmaunterstützung (ALE)
   Referenznummer der Bekanntmachung: TU-043/19-201-ZMN
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   42900000 - FG11
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische
   Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu
   erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares
   Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die
   atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden,
   -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren
   oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als
   Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen
   Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu
   beschaffen.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   Wert ohne MwSt.: 544 000.00 EUR
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   44113810
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEG0F
   Hauptort der Ausführung:
   TU-Ilmenau
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit
   Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner
   Filme aus Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional
   -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in
   memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und
   als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der
   Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 24
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
   Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
   Geplante Mindestzahl: 3
   Höchstzahl: 5
   Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:
   Zur Teilnahme berechtigt sind die maximal 5 Bewerber, die alle 5
   Mindestanforderungen erfüllen haben und die 5 höchsten gewichteten und
   summierten Wertungen erhalten haben:
   (W1) wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters  Absteigende
   Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 10 %,
   (W2) Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen
   in den letzten 3 Jahren - Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten
   Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,
   (W3) Mitarbeiter und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D 
   Absteigende Bewertung der 5 R&D-stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,
   (T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in
   Europa, nicht älter als 3 Jahre  Absteigende Bewertung der 5
   referenzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,
   (T2) aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im
   Applikationslabor - Absteigende Bewertung der 5 stärksten Bewerber (5-1
   Pkt.) 15 %,
   (T3) nächstgelegener Servicestandort  Absteigende Bewertung der
   Entfernung zum Erfüllungsort (5-1 Pkt.) 10 %.
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
   Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE 
   Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung 
   zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen
   und Wiederverwenden der EEE).
   Die Nichterfüllung mindestens eines dieser Mindestanforderungen gilt
   als Ausschlusskriterium.
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   durch Abgabe der EEE  Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3
   dieser Bekanntmachung  zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum
   Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   (W1) über die wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters,
   (W2) den Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in
   Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren sowie,
   (W3) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im
   Bereich R&D für Atomlagenätzsysteme.
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch
   Abgabe der EEE  Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die
   letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser
   Bekanntmachung  zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst
   zumAusfüllen und Wiederverwenden der EEE).
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   Mindestanforderung (Ausschlusskriterium):
   (M4) Der Bewerber muss mindestens eine Referenzinstallation eines
   Systems zum Atomlagenätzen mit Plasmaunterstützung in einer
   Forschungseinrichtung vorweisen können.
   (M5) Vorhandensein eines eigenen Applikationslabors zum Atomlagenätzen
   Bewertungskriterien:
   (T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in
   Europa, nicht älter als 3 Jahre,
   (T2) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im
   Applikationslabor sowie,
   (T3) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort.
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Wettbewerblicher Dialog
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
   Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
   Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks
   schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu
   verhandelnden Angebote
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 18/04/2019
   Ortszeit: 10:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   Tag: 13/05/2019
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   Aufträge werden elektronisch erteilt
   Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
   Die Zahlung erfolgt elektronisch
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden
   der EEE unter dem Link: Dazu Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer
   [6]https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=de. anklicken und dann
   die Option eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE
   ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDFDatei exportiert/
   gespeichert werden.
   Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens):
   Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber.
   Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur
   Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine
   der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor.
   Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter
   Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5
   Bewerbern herbeiführen.
   Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens):
   In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur
   Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots
   aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit
   Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können
   Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In
   diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und
   Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen.
   Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein
   Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den
   Bestbieter abgeschlossen wird.
   Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen
   Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
   Weimar Platz 4
   Weimar
   99423
   Deutschland
   Telefon: +49 361-37700
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
   Max-Planck-Ring 14
   Ilmenau
   98693
   Deutschland
   Telefon: +49 3677-691744
   E-Mail: [7]beschaffung@tu-ilmenau.de
   Fax: +49 3677-691931
   Internet-Adresse: [8]http://www.tu-ilmenau.de
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   13/03/2019
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   1. mailto:beschaffung@tu-ilmenau.de?subject=TED
   2. http://www.tu-ilmenau.de/
   3. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857
   4. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857
   5. https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=BF449CCA7F8474007861F7B2846EBCEC.app202?0
   6. https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=de
   7. mailto:beschaffung@tu-ilmenau.de?subject=TED
   8. http://www.tu-ilmenau.de/
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