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Ausschreibung: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - DE-München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Dokument Nr...: 28075-2018 (ID: 2018012009065747058)
Veröffentlicht: 20.01.2018
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  DE-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   2018/S 14/2018 28075
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
   über Vergabeportal deutsche eVergabe
   Hansastr. 27c
   München
   80686
   Deutschland
   E-Mail: [1]fraunhofer@deutsche-evergabe.de
   NUTS-Code: DE212
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]http://www.fraunhofer.de
   Adresse des Beschafferprofils: [3]http://www.deutsche-evergabe.de
   I.2)Gemeinsame Beschaffung
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [4]http://www.deutsche-evergabe.de
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [5]http://www.deutsche-evergabe.de
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: Forschungsgesellschaft e. V.
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Forschung & Entwicklung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Belacker i-line
   Referenznummer der Bekanntmachung: E_038_234370 cl-bla
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   42990000
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Das Fraunhofer IMS benötigt einen neues oder generalüberholtes
   (refurbished) Belackersystem. Das System ermöglicht die Belackung
   von 8 (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die
   Entwicklung dieser Lacke gemäß der Spezifikationen, welche im
   Lastenheft aufgeführt sind.
   Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von mindestens
   zwei Kassetten beladen. Das Gerät beinhaltet alle Heiz- und Kühlplatten
   für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine
   HMDS-Platte. Der Lackdispense soll mithilfe von Pumpen realisiert
   werden. Der Prozess beinhaltet edge bead removal  EBR und backside
   rinse  BSR. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels
   Puddledispense des geeigneten Lösemittels entwickelt.
   Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen
   (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung
   und Entwicklung von Wafern erlaubt.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEA12
   Hauptort der Ausführung:
   47057 Duisburg
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Fortsetzung von II.1.4.
   Das System soll vom Hersteller als stand-alone-tool oder through the
   wall im Reinraum am IMS installiert werden und muss den
   CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das
   Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.
   Um die Zuverlässigkeit nachzuweisen, muss das System mit einer
   Stückzahl von weltweit mehr als 75 Stück installiert sein. Im Falle
   einer refurbishten Anlage sollte das Baujahr nicht vor dem Jahr 2010
   liegen.
   Das System muss einen komplett sicheren Prozess-Ablauf ohne jedes
   Risiko für die Gesundheit des Bedieners erlauben. Wegen des begrenzten
   Reinraumplatzes muss die Hauptkammer des Belackersystems einen
   kleineren Grundriss als 2 550 mm x 2 000 mm besitzen. Die Pumpen,
   Kühler und Regler sind nicht in die Begrenzung eingeschlossen.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 5
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
   Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
   Geplante Mindestzahl: 3
   Höchstzahl: 5
   Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:
   Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Reinraumklasse, Alter der Geräte
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   (1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
   (2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
   (3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s.
   Anlage);
   (4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch
   den Auftraggeber angefordert).
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   (5) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen,
   nicht älter als 3 Jahre;
   (6) Reinraumklasse 10 oder besser;
   (7) Bei Angeboten von refurbished Systemen sollten die Systeme nicht
   älter sein als von 2010.
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre
   Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten
   Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im
   Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des
   Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Verhandlungsverfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
   Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
   Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks
   schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu
   verhandelnden Angebote
   IV.1.5)Angaben zur Verhandlung
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 19/02/2018
   Ortszeit: 23:59
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
    Anforderung Unterlagen  erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können
   ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter
   [6]www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
    Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen
   über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
    Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und
   ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte
   Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf
   Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
   Villemomblerstraße 76
   Bonn
   53123
   Deutschland
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt
   ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1
   genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen
   Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten
   Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir
   weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen
   Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht
   berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB
   informiert.
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
   über Vergabeportal eVergabe
   Hansastraße 27c
   München
   80686
   Deutschland
   E-Mail: [7]einkauf@zv.fraunhofer.de
   Internet-Adresse:[8]http://www.fraunhofer.de
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   18/01/2018
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   2. http://www.fraunhofer.de/
   3. http://www.deutsche-evergabe.de/
   4. http://www.deutsche-evergabe.de/
   5. http://www.deutsche-evergabe.de/
   6. http://www.deutsche-evergabe.de/
   7. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED
   8. http://www.fraunhofer.de/
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