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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DE-München - Industrielle Maschinen
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2017081209064485129 / 318980-2017
Veröffentlicht :
12.08.2017
Angebotsabgabe bis :
28.08.2017
Dokumententyp : Ausschreibung
Vertragstyp : Lieferauftrag
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren
Unterteilung des Auftrags : Gesamtangebot
Zuschlagkriterien : Wirtschaftlichstes Angebot
Produkt-Codes :
42000000 - Industrielle Maschinen
DE-München: Industrielle Maschinen

2017/S 154/2017 318980

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
über Vergabeportal deutsche eVergabe
Hansastr. 27c
München
80686
Deutschland
E-Mail: [1]fraunhofer@deutsche-evergabe.de
NUTS-Code: DE212

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: [2]http://www.fraunhofer.de

Adresse des Beschafferprofils: [3]http://www.deutsche-evergabe.de
I.2)Gemeinsame Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[4]http://www.deutsche-evergabe.de
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[5]http://www.deutsche-evergabe.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschungsgesellschaft e. V.
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

SiC-Ätzer.
Referenznummer der Bekanntmachung: E_059_273818 tk-ort FMD
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42000000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

SiC-Ätzer

Der SiC-Ätzer muss folgende generelle Funktionalitäten unterstützen:
Gas-Switching und Continuous Mode Kassetten mit 25 Slots laden
Kassetten mit weniger als 25 Slots und vergrößertem Platz zwischen den
einzel-nen Slots laden Substrate detektieren und handhaben, die
transparent oder semitransparent sind Elektrostatisches
Wafer-Chucking (für SiC-Wafer) Temperaturkontrolle des Wafers während
des Prozesses Endpunktdetektion 1. Maschine/Maschinengrundgerüst

weiter in II.2.4).
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE3
Hauptort der Ausführung:

13355 Berlin.
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Fortsetzung zu II.1.4)

und Nutzerschnittstellen Transfermodul geeignet für transparente und
semitransparente Substrate Prozess- und Transfermodul mit
Upgrade-Fähigkeit (Kassette-zu-Kassette-Modus, Cluster-Plattform) Das
Tool muss mit einem I/O-Port/Handling-Tool ausgestattet sein, um Wafer
aus Kassetten einzuschleusen Hohe Plasmadichte (1015/cm3) Variabler
Abstand zwischen Plasmaquelle und Substrate Operating Pressure
runter bis 2mTor möglich Temperatur-Einstellung der Prozess-Kammer
(zur Reduzierung von Ablagerun-gen).
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 9
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal

Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
Beschleunigtes Verfahren
Begründung:

Vorveröffentlichung 059/272375.
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
IV.1.5)Angaben zur Verhandlung
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: [6]2017/S 051-093547
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 28/08/2017
Ortszeit: 23:59
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:

Anforderung Unterlagen erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können
ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter
[7]www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. Bewerber unterliegen
mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte
Angebote (§134 GWB) Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in
deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1
genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden
Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen
Bieter versandt.
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Villemomblerstraße 76
Bonn
53123
Deutschland
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt
ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1
genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen
Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten
Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir
weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen
Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht
berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB
informiert.
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
über Vergabeportal eVergabe
Hansastraße 27c
München
80686
Deutschland
E-Mail: [8]einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse:[9]http://www.fraunhofer.de
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
10/08/2017

References

1. mailto:fraunhofer@deutsche-evergabe.de?subject=TED
2. http://www.fraunhofer.de/
3. http://www.deutsche-evergabe.de/
4. http://www.deutsche-evergabe.de/
5. http://www.deutsche-evergabe.de/
6. http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:093547-2017:TEXT:DE:HTML
7. http://www.deutsche-evergabe.de/
8. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED
9. http://www.fraunhofer.de/

 
 
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