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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DE-Dresden - Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2017051809051817393 / 186206-2017
Veröffentlicht :
18.05.2017
Angebotsabgabe bis :
21.06.2017
Dokumententyp : Diese Bekanntmachung ist ein Aufruf zum Wettbewerb
Vertragstyp : Lieferauftrag
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren
Unterteilung des Auftrags : Gesamtangebot
Zuschlagkriterien : Wirtschaftlichstes Angebot
Produkt-Codes :
31640000 - Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
DE-Dresden: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion

2017/S 95/2017 186206

Vorinformation

Diese Bekanntmachung ist ein Aufruf zum Wettbewerb

Lieferauftrag
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Bautzner Landstrasse 400
Dresden
01328
Deutschland
Kontaktstelle(n): Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Telefon: +49 3512603076
E-Mail: [1]vergabe@hzdr.de
Fax: +49 3512603166
NUTS-Code: DED21

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: [2]http://www.hzdr.de
I.2)Gemeinsame Beschaffung
I.3)Kommunikation
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: research institution
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: research

Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Delivery, Installation and Commissioning of a thin film sputter
deposition tool.
Referenznummer der Bekanntmachung: EUVV1706
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
31640000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

A planetary sputter-up system with base vacuum better than 3x10-8 mbar.
The system should consist of 5-6 sample holder positions for sputter
deposition including 4 single 3 inch magnetron guns with 4 DC + 2 RF
power supplies and 1 confocal cluster with 4 magnetrons for 2 inch
targets each, with 4 DC and 2 RF power supplies, one optional spare
deposition position for later upgrades. If power supplies for 2 and 3
inch guns are identical and inter-changeable then a total of 7 DC and 3
RF power supply units for all 8 sputter sources will be sufficient.
Max. power for DC power supplies is 1 kW. The magnetrons with water
cooling and individual gas inlets should be able to sputter also
ferromagnetic materials. Many window ports and additional ports where
possible for optional upgrades and extensions and additionally a
user-friendly software for automated operation (e.g. for
multilayer-deposition) should be included.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
Wert ohne MwSt.: 500 000.00 EUR
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DED21
Hauptort der Ausführung:

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.

Bautzner Landstrasse 400

01328 Dresden

Germany.
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

System requirements:

Sample holder rotatable and heatable up to 800°C (pressure<1x10-6
mbar at 750°C), for 3inch wafers, thickness uniformity better than +-5
% over complete sample

Turbo pumped loadlock for 5-10 wafers

Target-sample-distance: 100-150 mm in general. One 3-inch sputter gun
with possibility to reduce distance down to 20mm. Another 3inch sputter
gun with option to increase distance for deposition in magnetic field
without disturbing sputter characteristics (if possible include
integration of magnetic field on sample holder for in-plane and
out-of-plane fields up to 150mT)

Constant speed shutters in close sample proximity to allow growth of
wedge layers in one (x), better in two (x and y) directions for at
least one 3inch target sputter position

Sputtering in Ar with possibility to have background pressure of O2
and N2

Magnetrons should run between 7x10-4 and 5x10-2 mbar Ar pressure

Sample pre-cleaning/sputter option via sample bias/sample RF or
additional ion source.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
Wert ohne MwSt.: 500 000.00 EUR
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
II.2.11)Angaben zu Optionen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Expressions of interest must be submitted until to the date stated in
IV.2.2) at [3]vergabe@hzdr.de. The expression of interest presenting
our reference EUVV1706 can be done informal.

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal

Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang von Interessenbekundungen
Tag: 21/06/2017
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch, Englisch
IV.2.5)Voraussichtlicher Beginn der Vergabeverfahren:

Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Bundes
Villemomblerstr. 76
Bonn
53123
Deutschland
Telefon: +49 2289499-0
Fax: +49 2289499-163
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
Vergabekammer des Bundes
Villemomblerstr. 76
Bonn
53123
Deutschland
Telefon: +49 2289499-0
Fax: +49 2289499-163
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
16/05/2017

References

1. mailto:vergabe@hzdr.de?subject=TED
2. http://www.hzdr.de/
3. mailto:vergabe@hzdr.de?subject=TED

 
 
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