Ausschreibungen und Aufträge: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Laserlithographie - DEU-Köln Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Dokument Nr...: 610834-2026 (ID: 2026090401083535157) Veröffentlicht: 04.09.2026 * DEU-Köln: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Laserlithographie 2026/S 171/2026 610834 Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Laserlithographie OJ S 171/2026 04/09/2026 Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung Standardregelung Lieferleistungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) E-Mail: evergabe@dlr.de Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: Laserlithographie Beschreibung: Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV- Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen. Kennung des Verfahrens: 960e1da6-4065-47b3-8c8a-815e583e2cdc Interne Kennung: ELVIS-ID E67746541 Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 2.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Albert-Einstein-Allee 45 Stadt: Ulm Postleitzahl: 89081 Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Zusätzliche Informationen: Ausschlussgründe wegen der Nähe zu Russland: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: Laserlithographie Beschreibung: Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV- Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen. Interne Kennung: LOT-0001 422/2026/9460875 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 5.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Albert-Einstein-Allee 45 Stadt: Ulm Postleitzahl: 89081 Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144) Land: Deutschland 5.1.6. Allgemeine Informationen Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis 50% Beschreibung: Preis 50% Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 50 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20% Beschreibung: Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20% Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 50 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in der Bundesrepublik Deutschland hat einen Empfangsbevollmächtigten in der Bundesrepublik Deutschland zu benennen. Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten nennen. Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). 6. Ergebnisse Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 0,01 EUR 6.1. Ergebnis, Los- Kennung: LOT-0001 Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt. 6.1.2. Informationen über die Gewinner Wettbewerbsgewinner: Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH Angebot: Kennung des Angebots: 26-22-07385-3 Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001 Wert des Angebots: 1,00 EUR Vergabe von Unteraufträgen: Nein Informationen zum Auftrag: Kennung des Auftrags: 67375538 Datum der Auswahl des Gewinners: 11/08/2026 Datum des Vertragsabschlusses: 25/08/2026 6.1.4. Statistische Informationen Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge: Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) Registrierungsnummer: Leitweg-ID 992-03005-81 Abteilung: Einkauf Postanschrift: Linder Höhe Stadt: Köln Postleitzahl: 51147 Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23) Land: Deutschland E-Mail: evergabe@dlr.de Telefon: 0 00 Internetadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html Rollen dieser Organisation: Beschaffer 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes Registrierungsnummer: t:022894990 Abteilung: Vergabekammer Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53113 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +492289499578 Fax: +492289499163 Internetadresse: https://bundeskartellamt.de Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen Registrierungsnummer: (+49) 172 6629232 Stadt: Heidelberg Postleitzahl: 69123 Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125) Land: Deutschland Rollen dieser Organisation: Bieter Wirtschaftlicher Eigentümer: Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland Gewinner dieser Lose: LOT-0001 8.1. ORG-0004 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f355815a-5e3b-4ecb-8004-9b6c1bcc77f3 - 01 Formulartyp: Ergebnis Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 29 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 02/09/2026 07:38:33 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 171/2026 Datum der Veröffentlichung: 04/09/2026 Referenzen: https://bundeskartellamt.de http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202609/ausschreibung-610834-2026-DEU.txt -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de